6月20日，科創板上市委將召開第7次會議，審議中微公司等3家企業科創板上市申請。中微公司是一家以中國為基地、面向全球的高端半導體微觀加工設備公司，主要從事半導體設備的研發、生產和銷售。產品主要包括刻蝕設備和MOCVD設備。業內人士坦言，中國在半導體設備的技術、人才、產業環境等方面和國際領先水平存在很大差距。在這樣的條件下，中微公司在部分領域做到全球領先水平非常值得肯定。公司將逐漸突破，形成對海外公司的產品替代。

　　刻蝕機業務起家

　　中微公司主要從事高端半導體設備的研發、生產和銷售，主要產品包括刻蝕設備和MOCVD設備。

　　刻蝕機是公司的起家業務。2004年創立時，中微首先著手開發甚高頻去耦合的CCP刻蝕設備Primo D-RIE，目前己成功開發雙反應臺Primo D-RIE，雙反應臺Primo AD-RIE和單反應臺的Primo AD-RIE三代刻蝕機產品，涵蓋65納米、45納米、32納米、28納米、22納米、14納米、7納米到5納米關鍵尺寸的眾多刻蝕應用。

　　公司的等離子體刻蝕設備已被廣泛應用于國際一線客戶，從65納米到14納米、7納米和5納米的集成電路加工制造及先進封裝。

　　值得注意的是，5納米的刻蝕設備是目前世界最高水準。圓晶制程技術方面，14納米目前是主流，臺積電的7納米生產線已經開始大規模生產，5納米生產線已在建設中；三星2018年10月宣布7納米制程進入量產階段，5納米工藝在研發過程中；英特爾7納米工藝在研發中。

　　2018年12月，中微公司自主研制的5納米等離子體刻蝕機經臺積電驗證，性能優良，將用于全球首條5納米制程生產線。5納米是集成電路制程工藝最小線寬。臺積電宣布，2019年將進行5納米制程試產，預計2020年量產。

　　中微公司聯合創始人倪圖強曾表示，中微公司與泛林半導體、應用材料、東京電子、日立等4家美日企業組成了國際第一梯隊，為7納米芯片生產線供應刻蝕機，如今通過臺積電驗證的5納米刻蝕機，預計能獲得比7納米更大的市場份額。

　　“公司相關產品值得認可。”華東一家大型公募的投研人士對中國證券報記者表示，半導體行業屬于高端制造業，歐美日韓等地區在該領域處于絕對領先地位。中國在該領域的技術、人才、產業環境等方面和國際領先水平存在巨大差距。在這樣的條件下，中微公司在部分集成電路設備領域做到全球領先水平是十分難得的。

　　該人士表示，公司的產品進入了國際一線客戶，進入了最領先的5納米生產線。但是，一線客戶和5納米生產線需求的設備是多種類的。中微主要集中于此類設備，和國際領先的廠商例如應用材料、東京電子還存在差距。

　　中微公司另一塊主要產品是MOCVD設備，己開發了三代MOCVD設備，可用于藍綠光LED、功率器件等加工。目前公司的MOCVD設備已經三安光電等行業龍頭的生產線上大規模投入量產。公司己成為世界排名前列、國內占主導地位的氮化鎵基LED設備制造商。

　　靜待國產替代機遇

　　得益于半導體行業的增長、全球產能向中國大陸轉移，以及公司技術研發、產品品質、品牌信譽度、客戶資源等方面的優勢，報告期內公司主營業務收入保持快速增長。2017年度、2018年度，增長率分別為59.41%、68.66%。2016-2018年，公司營收分別為6.09億元，9.71億元和16.39億元；凈利潤分別為-2.38億元、2990萬元和9000萬元。

　　公司MOCVD設備業務增長迅速，遠快于刻蝕設備。2016年，公司MOCVD設備銷售僅3腔，到2017年單年銷售57腔，貢獻營收5.3億元。2018年，該業務營業收入達8.3億元，占營收總額比例超過50%，一躍成為中微的第一大主營業務。

　　“以MOCVD市場的競爭格局看，2017年前全球只有Veeco和Aixtron供貨，2018年中微占據MOCVD新增市場41%。其中，2018年二季度占比達到60%以上。公司取得的成績斐然。”申萬宏源研究所副總經理、首席分析師王勝表示。

　　目前，公司電容性刻蝕設備的全球市場份額約1.4%，2018年公司相關業務收入貢獻營收5.7億元，占營業總額比例為34%。

　　“作為一家后起廠商，公司產品推廣存在一些困難。芯片制造屬于極高端制造業，對制造設備的要求非常高，芯片制造廠商不愿意輕易更換設備供應商。中微的產品即使性能上達到國際領先水平，客戶也沒有很強的動力去更換，尤其是國際客戶。所以，產品的推廣是一個漫長過程，需要付出很多時間和精力。”前述公募人士表示。

　　王勝表示，半導體刻蝕設備產品的技術壁壘高，新產品要突破，要與原產品保持一致性能的基礎上，價格有優勢才能逐步替代。因此，半導體設備行業的格局通常難以撼動。在國內廠商現有產線鏈逐漸向國內轉移的趨勢下，國內優秀公司有機會做大做強。參照公司MOCVD的拓展，公司將逐漸突破市場，形成對海外公司產品的替代。

　　“半導體設備市場規模2018年預估621億美元，空間足夠大，壁壘足夠高。歷史上有ASML、應用材料等公司成為行業巨頭，牢牢把握著行業定價權。在內外部環境推動下，看好公司業務不斷突破向上。”王勝說。

　　科研實力突出

　　中微公司的科研實力突出。招股書顯示，公司申請了1201項專利。其中，發明專利1038項，海外發明專利465項。公司承擔了兩項國家科技重大專項科研項目。截至2018年底，公司員工人數653人，技術人員381人，占比達到60%；2018年，公司研發投入達到1.18億元。

　　前述公募人士表示，從人員的數量和質量、從研發投入的規模看，中微公司的研發實力處于國內頂級水平，和國際領先水平還存在一定差距。不過，公司的幾位核心技術人員均在英特爾、應用材料等國際領先的半導體公司有長達20-30年的工作經歷，產業和研發經驗豐富。

　　公司創始人、董事長尹志堯是半導體設備產業的傳奇人物，也是公司研發團隊的核心。招股說明書顯示，尹志堯在半導體芯片和設備產業有35年行業經驗，是國際等離子體刻蝕機技術發展和產業化的重要推動者。

　　尹志堯1980年赴美國加州大學洛杉磯分校攻讀物理化學博士，畢業后進入英特爾中心研究開發部工作，擔任工程師；1986年加盟泛林半導體，開發了包括Rainbow介質刻蝕機在內的一系列成功的等離子刻蝕機，使得陷入困境的泛林一舉擊敗應用材料，躍升為全球最大的等離子刻蝕設備制造商，占全球40%以上的刻蝕設備市場。目前，尹志堯是89項美國專利和200多項其他海外專利的主要發明人。

　　“公司高度重視研發投入與自主核心技術。2016年-2018年，公司累計研發投入10.37億元，約占營業收入的32%。公司在與國際半導體設備領先公司數輪的商業秘密和專利訴訟中均達成和解或勝訴，證明了公司扎實的自主知識產權基礎和應對國際復雜知識產權挑戰的能力。”王勝對中國證券報記者表示。