中證網訊（記者 孟培嘉）12月23日，微導納米登陸上交所科創板，截至上午收盤上漲15.2%。本次上市，公司擬募集資金10億元，投向基于原子層沉積技術的光伏及柔性電子設備擴產升級、基于原子層沉積技術的半導體配套設備擴產升級、集成電路高端裝備產業化應用中心三個項目并補充流動資金。

招股書顯示，微導納米以原子層沉積（ALD）技術為核心，主要從事先進微、納米級薄膜沉積設備的研發、生產和銷售，向下游客戶提供先進薄膜沉積設備、配套產品及服務。2019年度至2021年度，公司分別實現營業收入2.16億元、3.13億元、4.28億元，年均復合增長率40.81%。

研發方面，2019年-2021年微導納米研發費用分別為3109.05萬元、5373.47萬元、9704萬元，呈持續上升趨勢。截至目前，公司已取得95項國家授權專利，其中發明專利13項、實用新型專利73項、外觀設計專利9項，并擁有軟件著作權19項。

此外，微導納米還榮獲工信部2021年第三批專精特新“小巨人”企業、2021年蘇南國家自主創新示范區獨角獸企業、2020年度江蘇省小巨人企業（制造類）等榮譽稱號，并被認定為江蘇省原子層沉積技術工程技術研究中心等。

微導納米表示，公司未來將繼續深化開發薄膜沉積技術在下一代光伏電池、半導體各細分應用（集成電路、先進存儲等）、柔性電子等應用領域的技術和產品儲備，并已在下游行業多家知名公司進行了產品驗證。