中證網訊（王珞）據必聯網發布的中標結果公告顯示，3月7日，嘉芯迦能的摻雜硼磷二氧化硅薄膜化學沉積設備（SACVD）以及鈦/氮化鈦沉積設備（MOCVD）再次中標某公司的特色工藝生產線建設招標項目。嘉芯迦能為萬業企業旗下嘉芯半導體的子公司。

　　自2022下半年開始，萬業企業旗下嘉芯半導體多次中標多款設備，包含快速熱處理（RTP）、氮化硅等離子刻蝕機、金屬等離子刻蝕機、側墻等離子刻蝕機、高密度等離子薄膜沉積設備（HDP-CVD）、二氧化硅等離子薄膜沉積設備（PECVD）、鋁銅金屬濺射設備（PVD）、摻雜硼磷二氧化硅薄膜化學沉積設備（SACVD）以及鈦/氮化鈦沉積設備（MOCVD）等。